SiC-Feinpulver für poröse SiC-Keramik-Vakuumspannplatte
Poröse SiC-Keramik hat gegenüber anderen Keramiken hervorragende Vorteile. Dazu gehören hohe Festigkeit, ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und gute Wärmeschockbeständigkeit. Daher ist es eine ideale Vakuumspannkeramik in der Halbleiterindustrie zum Verbinden, Schneiden, Installieren von Klebeband, Polieren usw. Siliziumkarbid-Feinpulver ist nur der Rohstoff für poröse SiC-Keramik-Vakuumspannplatten.