Eigenschaften von grünem SiC-Pulver zum Polieren von AlN-Keramikoberflächen
AlN-Keramik (Aluminiumnitrid) ist ein Hochleistungssubstrat für elektronische Leiterplatten. Es besteht aus Aluminiumnitrid-Keramik als isolierendem und wärmeableitendem Kern und wird mit leitfähigen Metallschichten (üblicherweise Kupfer) kombiniert, um eine Leiterplatte für Hochleistungs- und Hochfrequenzgeräte zu bilden. Durch Polieren der AlN-Keramikoberfläche mit grünem SiC-Pulver lässt sich eine ausgezeichnete Oberflächenhärte erzielen.