Schwarzes SiC-Pulver 800# für Halbleiterausrüstung – poröse Siliziumkarbidkeramik
In Halbleiterproduktionsanlagen sind Hochleistungskeramikkomponenten unverzichtbar. Insbesondere Siliziumkarbidkeramiken sind wichtige Komponenten in Schlüsselgeräten wie Ätzmaschinen, Lithografiemaschinen, Ionenimplantationsmaschinen usw. Beispielsweise sind Schleif- und Poliersauger, Saugnäpfe für die Photolithografie, Inspektionssauger, Ätzprozesse und Bewegungsplattformen alle mit Siliziumkarbidkeramiken ausgestattet. Diese Siliziumkarbidkeramikkomponenten weisen eine gute strukturelle Stabilität, thermische Stabilität, Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und hohe Maßgenauigkeit auf. Siliziumkarbidpulver als Hauptrohstoff zur Herstellung von Siliziumkarbidkeramiken muss ebenfalls gute und stabile Eigenschaften aufweisen. Unter ihnen ist schwarzes SiC-Pulver 800# für poröse Siliziumkarbidkeramik-Saugnäpfe eine typische Anwendung.