Wenn es um das Schleifen harter Materialien geht, muss grünes Siliziumkarbid auf der Liste der alternativen Materialien stehen. Aluminiumnitridkeramik ist eine neue Art von Keramik mit hoher Wärmeleitfähigkeit, Hitzeschockbeständigkeit, mechanischer Festigkeit und Biegefestigkeit. Seine Härte kann 12 Gpa erreichen und die Mohshärte beträgt 7-8. Grünes Siliziumkarbid eignet sich typischerweise zum Schleifen von Materialien wie Jade, Kristall, Borosilikatglas, Siliziumwafern, optischem Glas usw. und hat eine Mohshärte von 6,5-7. Es zeigt, dass die Verwendung von grünem SiC 5 Mikron zum Polieren von Aluminiumnitridkeramiksubstraten und Keramikkomponenten ebenfalls ein effizientes Schleifen erreichen kann.