SiC-Feinpulver für poröse SiC-Keramik-Vakuumspannplatte
Poröse SiC-Keramik hat gegenüber anderen Keramiken hervorragende Vorteile. Dazu gehören hohe Festigkeit, ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient und gute Wärmeschockbeständigkeit. Daher ist es eine ideale Vakuumspannkeramik in der Halbleiterindustrie zum Verbinden, Schneiden, Installieren von Klebeband, Polieren usw. SiC-Feinpulver ist nur der Rohstoff für poröse SiC-Keramik- Vakuumspannplatten .
Die Vorteile von schwarzem Siliziumkarbid-Feinpulver für poröse SiC-Keramik-Vakuumspannfutter sind:
1. Verschleißfest und hochtemperaturbeständig. Es erfüllt die Anforderungen an einen langfristigen Dauerbetrieb des Spannfutters.
2. Geringe Wärmeausdehnungsrate, wodurch Ausfälle durch Volumenverformung vermieden werden.
3. Starke Korrosionsbeständigkeit. Siliziumkarbid-Feinpulver reagiert unter Hochtemperaturbedingungen nicht mit dem Adsorptionsmaterial.
4. Starke chemische Stabilität, in einer Vakuumumgebung entstehen keine korrosiven Gase oder Kurzschlüsse.
5. Die Partikelgröße des Siliziumkarbid-Mikropulvers ist steuerbar. Es eignet sich für die Herstellung von ultradünnen Siliziumkarbid-Keramik-Vakuumspannfuttern.
6. Nach der chemischen Reinigung und Wasserwäsche sind der Gehalt und der Gehalt an schwarzem Siliziumkarbid-Ultrafeinpulver sehr gering.
