Schwarzes SiC-Pulver 800# für Halbleiterausrüstung – poröse Siliziumkarbidkeramik
In der Halbleiterproduktion sind Hochleistungskeramikkomponenten unverzichtbar. Insbesondere Siliziumkarbidkeramiken sind wichtige Komponenten in Schlüsselgeräten wie Ätzmaschinen, Lithografiemaschinen, Ionenimplantationsmaschinen usw. Beispielsweise sind Schleif- und Poliersauger, Saugnäpfe für die Photolithografie, Inspektionssauger, Ätzprozesse und Bewegungsplattformen alle mit Siliziumkarbidkeramiken ausgestattet. Diese Siliziumkarbidkeramikkomponenten weisen eine gute strukturelle Stabilität, thermische Stabilität, Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und hohe Maßgenauigkeit auf. Siliziumkarbidpulver als Hauptrohstoff zur Herstellung von Siliziumkarbidkeramiken muss ebenfalls gute und stabile Eigenschaften aufweisen. Unter ihnen ist schwarzes SiC-Pulver 800# für poröse Siliziumkarbidkeramik-Saugnäpfe eine typische Anwendung.
Mit der raffinierten Produktion von SiC-Pulver wurden die physikalischen und chemischen Eigenschaften sowie die Partikelgrößenstabilität deutlich verbessert. Feines schwarzes SiC-Pulver, das durch Sieben, Säure-Alkali-Waschen und Wasserwaschen raffiniertes wird, ist besser für die Anforderungen von Hightech-Bereichen wie Halbleitern geeignet. Die spezifischen Eigenschaften sind wie folgt:
1. Hohe Temperaturstabilität.
Schwarzes SiC-Pulver hat einen sehr hohen Schmelzpunkt und eine hohe thermische Stabilität, sodass poröse Keramik auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen ihre gute Leistung behält.
2. Hohe Reinheit.
Nach der chemischen Behandlung und dem Waschen mit Wasser weist schwarzes Siliziumkarbidpulver einen geringen Magnetgehalt und einen geringen Gehalt an freiem Kohlenstoff sowie eine gute Fließfähigkeit und einfache Dispersion auf.
3. Hohe Partikelgrößenkonzentration.
Hohe Konsistenz der Partikelgröße, enger Bereich der Pulverpartikel und hohe Packungsdichte. Es kann die Dichte von Siliziumkarbidkeramik verbessern.
4. Hervorragende mechanische Eigenschaften.
Schwarzes SiC weist eine hohe Härte, Festigkeit und ausgezeichnete Druckfestigkeit auf. Es kann die mechanische Festigkeit und Verschleißfestigkeit von poröser Keramik verbessern.
5. Starke chemische Stabilität.
Schwarzes Siliziumkarbid weist eine gute Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Basen und den meisten chemischen Substanzen auf. Dadurch können die chemische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit poröser Keramik verbessert werden.
6. Gute Wärmeleitfähigkeit.
Aufgrund der hohen Wärmeleitfähigkeit von schwarzem Siliziumkarbid können poröse Keramiken Wärme effektiver übertragen und ableiten.
7. Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient.
Schwarzes Siliziumkarbid hat einen niedrigeren Wärmeausdehnungskoeffizienten. Es trägt dazu bei, die thermische Belastung und Beschädigung poröser Keramik bei Temperaturschwankungen zu verringern.
8. Verbesserte Oxidationsbeständigkeit.
Schwarzes SiC kann die Oxidationsbeständigkeit poröser Keramik verbessern und ihre Lebensdauer verlängern.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Verwendung von schwarzem Siliziumkarbid als Zusatzstoff oder Basismaterial für poröse Keramiken deren Hochtemperaturstabilität, mechanische Eigenschaften, chemische Stabilität und verschiedene andere Eigenschaften erheblich verbessern kann. Diese Vorteile machen es in Umgebungen mit hohen Temperaturen, hohem Druck und hoher Korrosion, insbesondere in der Halbleiterausrüstungsindustrie, vielseitiger einsetzbar.
