Grünes Siliziumkarbid Micron zum Polieren von PZT-Material
Grünes Siliziumkarbid-Mikron ist eine Art nichtmetallisches Schleifmittel mit hoher Härte und hoher mechanischer Festigkeit. Es kann ein aggressives Schleifen verursachen. Grünes Siliziumkarbid hat große Vorteile für das Schleifen von PZT-Materialien ( piezoelektrische Keramik ).
PZT ist ein funktionelles keramisches Material, das mechanische Energie und elektrische Energie ineinander umwandelt. Sie werden häufig in Optik, Halbleitern, Instrumenten und anderen Bereichen verwendet. Allerdings sind Keramiken spröde und schwierig durch Piezoelektrizität zu verarbeiten. In der späteren Oberflächenbehandlungsphase von PTZ-Keramiken wird die doppelseitige Poliermaschine zum Schleifen und Polieren des PZT-Wafers verwendet. Im Allgemeinen wird die Oberflächenbehandlung von PZT, wie z. B. abgestuftes Aufrauhen und Schleifen, mit grünem Siliziumkarbid von 50 Mikron, 40 Mikron, 20 Mikron und 14 Mikron durchgeführt. Nach dem Aufrauen ist die Waferoberfläche gleichmäßig ohne Kratzer und die Rauheit kann 1,2-1,5 um erreichen. In der Phase des Feinpolierens und Feinschleifens werden weiße Korundpulver mit 14 Mikron, 7 Mikron und 5 Mikron zum Feinschleifen ausgewählt. Die Rauheit des Produkts nach dem Polieren beträgt weniger als 50 nm.
Um den Schleifeffekt beim Polieren ohne Kratzer zu erzielen, muss die Partikelgröße des grünen Siliziumkarbid-Schleifmittels streng kontrolliert werden. Dabei sollte die Partikelgröße möglichst gleich und der Partikelgrößenbereich eng sein. Bei großen Partikeln kann die Keramikoberfläche leicht beschädigt werden. Wenn viele feine Partikel vorhanden sind, verringert dies die Schleifeffizienz. Daher ist das durch Wasserwaschüberlauf sortierte grüne Siliciumcarbidpulver das geeignete Schleifmittel.